專業雷射雕刻機正鉑雷射股份有限公司】雷射雕刻雷射打標機

正鉑雷射專注於提供全方位的雷射應用解決方案,是台灣專業的雷射設備製造商與整合服務提供者。我們擁有多款高性能的雷射雕刻機與雷雕機,廣泛應用於金屬、塑膠、玻璃、陶瓷等多種材質的精密加工,滿足各類產業對高效率與高精度的要求。

高效雷射雕刻雷射打標技術,提升加工品質

無論您是需要細緻的雷射雕刻,還是大面積的快速雷射打標,我們的雷射打標機與雷射雕刻機皆能穩定輸出、效果清晰、速度快速。雷雕機結合自動對焦與高功率雷射模組,能應用於電子、五金、工藝品等多元產業。

先進雷射焊接設備與雷射清潔機應用

正鉑雷射的雷射焊接設備結合高功率光纖雷射與精密控制系統,可大幅提升焊接品質與加工效率,特別適用於鋰電池、電子組件與醫療器械的焊接需求。此外,我們也提供最新一代的雷射清潔機,專為模具、金屬表面、油漬與氧化層清除設計,有效取代傳統化學或機械式清潔方式,綠色環保、維護成本低。

客製化雷射雕刻與雷射打標方案,打造智慧製造

我們了解每個產業對雷射加工的需求不同,因此提供客製化的雷射雕刻、雷射打標與雷射焊接解決方案。正鉑雷射不僅銷售雷雕機、雷射雕刻機與雷射打標機,更重視設備的穩定性與售後服務,協助企業強化生產力與產品品質。

無論您正在尋找高效率的雷射打標機、耐用的雷射雕刻機,還是多功能的雷射清潔機,正鉑雷射都是您值得信賴的合作夥伴。

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提升半導體產能與良率的關鍵:深度解析「雷射隱形切割技術 」

2026-05-26

提升半導體產能與良率的關鍵:深度解析「雷射隱形切割技術 」

在追求更小晶片尺寸與更高產出的今日,傳統的加工方式面臨挑戰。本文將深入探討雷射隱形切割技術的核心優勢,並對比其與傳統刀輪切割的具體差異,為技術專家提供最精確的製程參考。

一、 什麼是隱形切割 ?

隱形切割是一種先進的晶圓加工技術,其核心原理是利用特定波長的雷射透過材料表面,在材料內部進行改性 。與傳統消融切割不同,它具備以下特點:

  • 材料內部改質: 雷射焦點精準鎖定於內部,不傷及表面 。
  • 無粉塵加工: 由於是在內部改性後再進行擴片,製程中幾乎無粉塵產生。
  • 損耗小、產量更高: 极窄的切割道讓單片晶圓可容納的晶粒數量更多 。

二、 技術規格與加工限制

根據技術實測數據,隱形切割展現極高的精密性,但也存在特定的物理限制,專業技術人員在導入時需考量以下參數(以正鉑雷射隱形切割設備為例):

項目技術規格與要求
對應材質矽晶圆 (Mems, Rfid, Memory等)、GaAs、InP、SiC、GaN 
切割道寬度最小可縮至 20μm(常規矽面入射時) 
崩邊控制一般小於 3μm(電阻率 >1Ω•cm 時) 
抗折強度約 400~600Mpa,與刀輪切割強度相當 
表面要求表面必須光滑,需經過 2000 目以上的研磨 

三、 隱形切割 vs. 傳統刀輪切割:效能與成本對比

在生產決策中,產出率 (UPH) 與總擁有成本 (TCO) 是關鍵指標。隱形切割在速度與耗材成本上具有顯著優勢。

比較項目傳統刀輪切割 雷射隱形切割 
切割速度(厚度400μm)50~70mm/s 600~800mm/s 
加工通行次數 (厚度400μm)一般使用 2pass 一般使用 4pass 
耗材與維護成本需刀片、切割液、去離子水
無水與保護液耗材
主要機制表面去除材料 內部材料改性 

四、 正鉑隱形切割技術 FAQ 與進階考量

Q: 隱形切割的熱效應會影響晶片嗎?
A: 最大的散射區域為單邊 10μm。在切割道大於 20μm 的情況下,一般不會影響晶片性能 。

Q: 哪些情況「不適合」使用隱形切割?
A: 根據技術指南,以下情況需特別注意 :

  • 晶片尺寸小於 200μm。
  • 表層或材料中間含有金屬層(雷射無法透過)。
  • 111 晶向的矽(更難切,側面直角度誤差較大)。


Q: 隱形切割後如何分離晶片?
A: 矽隱切後通常直接擴片(小於 500μm 晶片大概率需裂片);而 GaAs, InP, SiC 和 GaN 隱切後則必須執行裂片動作 。

五、 結論

隱形切割技術以其高速度(比傳統刀輪快約 10 倍 )、低耗材成本以及優異的加工品質,正成為半導體後段製程的主流選擇。然而,對於低阻矽特定晶向 (111) 的材料,仍需依靠資深工程師的參數調校以確保最佳良率 。

本文技術數據引用自正鉑專業技術文件